Badania mikroskopowe przeprowadzane są przy użyciu mikroskopu optycznego, jak i skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM - Scanning Electron Microscope) wyposażonego w przystawkę EDS (Energy-dispersive X-ray spectroscopy) do badania składu pierwiastkowego w mikroobszarach. Badanie EDS wykonujemy metodą punktową lub liniową. Możliwe jest także badanie morfologii stopów metalicznych. Badania wykonywane są na wysokiej jakości zgładach metalograficznych, przygotowanych przez wykwalifikowany personel.
